NITTO日东电工MSA840II 8寸半自动划片贴膜机

一、设备总体描述： 

用于6寸/8寸硅晶圆在切割前固定胶带的贴敷，贴膜机内部屏蔽静电，对超薄圆片进行贴膜，边缘无裂片，无破膜。 
设备采用人工上片，自动贴膜，自动切膜，人工下片的方式进行作业。 

二、设备安装及厂务需求： 

1. 机器尺寸：800mm(W) X 670mm(D) X 750mm(H) 
2. 机器重量：110kg 
3. 安装环境： 
a) 温度：25±5℃ 
b) 湿度：45±15% 
c) 洁净等级：1000级或10000级 
4. 动力条件 
a) 电源：Single-phase AC100 ± 10%, 50/60 Hz 
b) 功率：1kVA 
c) 压缩空气：0.5 MPa，150L/min，连接管φ8mm 

三、设备技术指标： 

1. 适用晶圆尺寸：6”、8” 
2. 适用晶圆厚度： 
6寸：85-725μm 
8寸：200-725μm 
3. 适用框架尺寸： 
6寸：DTF 2-6-1 
8寸：K&S 
4. 晶圆固定方式：真空吸附 
5. 工作台材质： 
6寸：陶瓷微孔 
8寸：铝制，表面特氟龙防静电涂层 
6. 工作台加热：60℃ 
7. 胶带类型：UV和非UV，单层或双层均可 
8. 胶带宽度： 
6寸：230mm (宽) X 100M (长) 
8寸：300mm (宽) X 100M (长) 
9. 胶带厚度：75 - 250um 
10. 废胶带回收功能：有 
11. 离型膜回收功能：有 
12. 贴膜速度：40秒/片（不包含人工上下片时间） 
13. 贴片定位精度：≤1mm 
14. 操作面板：3.8寸触摸屏