NITTO日东电工DSA840II半自动研磨贴膜保护设备

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品牌NITTO日东电工

详细介绍

型号	DSA840II	加工定制	是
用途	半自动研磨贴膜保护设备	别名	半自动贴膜机
规格	8寸	机器重量：	200kg
包装	标准出口包装	适用晶圆尺寸	4”、5”、6”、8” 英寸
机器尺寸	540mm(W) X 910mm(D) X 720mm(H)

一、设备总体描述：
1. 该撕膜机用于减薄或刻蚀工艺后晶圆表面保护胶带的揭除。设备可用于 4”、5”、6”、8”晶圆撕膜。
2.  采用滚轮方式压覆撕膜胶带，利用撕膜胶带黏性去除保护胶带。
3.  设备符合CE 标志 /SEMI S2/S8 安全标准。
4. 机器尺寸：540mm(W) X 910mm(D) X 720mm(H)
5. 机器重量：200kg

二、一般技术指标：

适用晶圆尺寸： 4”、5”、6”、8”

适用晶圆厚度： 200um（150um以下超薄片撕膜为可选项）

晶圆固定方式：真空吸附

工作台加热：最大80℃

工作台材质：铝制，表面特氟龙防静电涂层。

撕膜胶带宽度：最大100mm

废胶带回收功能：有，自动

撕膜速度： 50秒/片

操作面板： 3.8寸触摸屏，工艺参数可编程及存储。

操作方式：自动贴撕膜胶带，自动撕膜，自动回收废膜，动作完成报警提示。

静电控制：整个撕膜过程设计静电防护，胶膜滚轮等与产品关联的部位采用防静电材料，安装基恩士除静电离子风扇，控制机内和撕膜工作过程的静电水平<100V

安全保护：设备符合CE 标志 /SEMI S2/S8 安全标准。具有EMO紧急按钮，门未关闭报警，废胶带满载报警功能。

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