型号 | DR3000III | 加工定制 | 是 |
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用途 | 研磨贴膜 | 别名 | 研磨贴膜设备 |
规格 | 可用晶圆尺寸:300 mm/200 mm | 可用晶圆尺寸 | 300 mm/200 mm |
可用晶圆厚度 | 400 um 或更厚 | 吞吐量 | 68晶圆/小时 |
该设备可将保护胶带粘贴在晶圆图案表面上,用于背面研磨处理
具有前开式晶圆盒/开放式晶圆匣
低拉力粘贴/粘贴应力控制
可通过触摸面板和配方功能实现简易操作
日志文件功能标准设备
具有胶带下垂检测功能
符合 CE 标志和 SEMI S2/S8规范要求
可添设晶圆映射扫描仪
符合 SECS/GEM 标准
可用晶圆尺寸:300 mm/200 mm
可用晶圆厚度:400 um 或更厚
吞吐量:68晶圆/小时