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上海瞻驰光电科技有限公司销售部
联系人：王晓玉（销售助理）
固 话：021-58210030
手 机：15300099033
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| 型号 | UA3000II | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 用途 | 降低晶圆背面的切割胶带粘合强度 | 别名 | 解胶机 |
| 规格 | 12寸、8寸 | 可用晶圆尺寸 | 300 mm／200 mm |
| 吞吐量 | 60晶圆/小时 | 可用框架 | 300 mm／200 mm |
该设备可用于将紫外线辐照在晶圆背面的切割胶带上，以降低粘合强度。我们具有一系列最大12寸，全自动型和半自动型粘贴器，可用于尺寸较大的晶圆。
UA3000II
自动计算紫外线辐照时间
辐照面积扩大（相对于框架面积）
具有 N2净化功能
紫外线辐照之后检查标记印记
可通过触摸面板和配方功能实现简易操作
日志文件功能标准设备
符合 CE mark/SEMI S2/S8"规范要求
可用框架/晶圆尺寸：300 mm／200 mm
可用晶圆尺寸：300 mm／200 mm
吞吐量：60晶圆/小时
UA8400
自动计算紫外线辐照时间
辐照面积扩大（相对于框架面积）
具有 N2净化功能
紫外线辐照之后检查标记印记
可通过触摸面板和食谱功能实现简易操作
日志文件功能标准设备
符合 CE 标志/SEMI S2/S8规范要求
可用框架尺寸：8/6英寸
可用晶圆尺寸：8/6/5/4英寸
吞吐量：TAIKO 晶圆：100晶圆/小时
UM810/UM110
配有紫外线辐照计时器（设定范围：0-999 sec.）
具有 N2净化功能
紫外线照度计（可选）
辐照面积扩大（相对于框架面积）（可选）
可用框架尺寸：UM810：8/6英寸 UM110：6英寸
可用晶圆尺寸：UM810：8/6/5/4英寸 UM110：6/5/4英寸
