型号 | MA2008IIR/ MA2008IIP | 加工定制 | 是 |
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用途 | 划片贴膜 | 别名 | 全自动划片贴膜机 |
规格 | 可用晶圆尺寸:8/6/5/4英寸(in) | 吞吐量 | MA2008IIR:75晶圆/小时 MA2008IIP:70晶圆/小时 |
可用晶圆厚度 | 200 um 或更厚(接触工作台)、250 um 或更厚(非接触工作台) | 可用框架尺寸 | 8英寸(in)/6英寸(in) |
可用晶圆尺寸 | 8/6/5/4英寸(in) |
MA2008IIR/MA2008IIP
可用于各种综合应用:
DSC、晶圆堆叠架;非接触壁、非接触工作台;
保护胶带剥离/紫外线辐照;面板装配
MA2008IIR:用于卷胶带
MA2008IIP:用于预切胶带
可通过触摸面板和食谱功能实现简易操作
日志文件功能标准设备;可添设晶圆映射扫描仪
符合SECS/GEM标准;CE mark/SEMI S2/S8"规范要求
可用框架尺寸:8英寸(in)/6英寸(in)
可用晶圆尺寸:8/6/5/4英寸(in)
可用晶圆厚度:200 um 或更厚(接触工作台)、250 um 或更厚(非接触工作台)
吞吐量:MA2008IIR:75晶圆/小时
MA2008IIP:70晶圆/小时